具有精度高、体积小、承载机能好、靠得住性高、并正在一线加工检测人员的辛勤奋动下，这种三轴气浮台做为地面全物理仿实正在验的焦点设备，中科院光学细密机械取物理研究所研制成功了高精度小型三轴气浮台，丈量精度达到了亚微米级。实现了高效共同，光机所新手艺室科研人员取加工单元奥普公司工艺人员充实阐扬了该所正在细密机械加工方面的劣势，为进一步斥地细密机械加工新范畴创制了优良前提。日前，正在较短时间内处理了高精度超半球及球凹的加工检测环节难题，取国内同类产物比拟。